CdS肖特基紫外探测器的研制

摘要

基于微电子平面工艺,采用电子束蒸发Pt方法,制备了基于CdS材料的肖特基紫外探测器.对该器件的Ⅰ-Ⅴ特性、光谱响应率、量子效率等参数进行了测试,结果表明器件具有良好的整流特性,室温零偏压下光谱响应范围250 ～ 500 nm,在500 nm波长处达到最大光谱响应率0.285 A/W,量子效率为75.3％.并根据热电子发射理论对测试结果进行了计算得到理想因子为1.024,肖特基势垒高度为0.859 eV.