常压MOCVD法在多孔硅上生长GaAs

摘要

采用自己发展的ＨＦ化学预处理技术和常压ＭＯＣＶＤ法在多孔硅上首次生长出了基本上是单晶的ＧａＡｓ膜，研究了ＧａＡｓ膜的结构和光学特性。通过对Ｓｉ、ＰＳ、ＧａＡｓ／Ｓｉ和ＧａＡｓ／ＰＳ的Ｒａｍａｎ散射分析，初步论述了ＰＳ的Ｒａｍａｎ散射谱的峰肩起源可能与表面氧化有关。