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金属诱导横向结晶多晶硅薄膜晶体管热载流子应力退化特性及模型研究

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低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)广泛应用于平板显示.从开态和关态两个方面,研究了热载流子(HC)应力下,N型金属诱导横向结晶(MILC) LTPS TFT器件退化特性及模型.

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来源
《苏州大学学报（工科版）》|2007年第1期|7-11|共5页
作者
朱臻;
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作者单位

苏州大学电子信息学院,江苏,苏州,215021;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;半导体物理学;
关键词
多晶硅薄膜晶体管; 金属诱导横向结晶; 热载流子退化; 可靠性; 开态特性; 关态特性;
入库时间 2023-07-25 21:53:00

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