燃焰法CVD金刚石薄膜生长过程的实验研究

摘要

采用燃焰法在硅基片表面进行了金刚石薄膜沉积实验，介绍了金刚石微粉研磨基片表面对金刚石成核及生长的影响，根据不同沉积时间基片表面的扫描电子显微照片，分析了金刚石薄膜的生长过程，得出了金刚石薄膜的生长是以岛状生长模式形成连续膜的结论。