燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究

摘要

采用燃焰法在大气环境下以３０μｍ／ｈ的较高速率沉积出了均匀、优质、透明的金刚石薄膜。实验结果表明，较高的Ｖ（Ｏ２）／Ｖ（Ｃ２Ｈ２）和适中的基体温度是获得高品质金刚石薄膜的基本条件；提高反应气体中氧气浓度，可使沉积高品质透明金刚石薄膜的基体温度范围变宽。