表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化

摘要

研究了基于SOI(silicononinsulator)工艺的压阻悬臂梁传感器的静态和动态特性,推导了其用于表面应力测量时灵敏度和分辨率的表达式.分析了各种参数对性能的影响,提出了参数设计与优化的流程.得到了一套灵敏度为-1·8×10-3m/N,分辨率为8·5×10-5N/m,弹性系数为0·023N/m,谐振频率为1·3×104Hz的设计参数.