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SOI器件中瞬态浮体效应的模拟与分析

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摘要

针对 SOI器件中的瞬态浮体效应进行了一系列的数值模拟 ,通过改变器件参数 ,比较系统地考察了 SOI器件中瞬态浮体效应 ,同时也研究和分析了瞬态浮体效应对 CMOS/SOI电路 (以环振电路为例 )的影响 ,并提出了抑制器件浮体效应的器件结构和参数优化设计 .

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来源
《半导体学报》 |2001年第9期|1147-1153|共7页
作者
卜伟海; 黄如; 徐文华; 张兴;
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作者单位

北京大学微电子所;

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正文语种 chi
中图分类设计;
关键词
SOI器件; 浮体效应; 环振电路; 集成电路;

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