电泳沉积PNN-PZT陶瓷厚膜及其电学性能研究

摘要

利用电泳沉积法分别在Al_2O_3/Pt和Pt金属基底上制备了厚度为10～40μm的0.3Pb(Ni_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.7Pb(Zr,Ti)O_3(PNN-PZT)厚膜, 研究了pH值、Zeta电位与PNN-PZT悬浮液稳定性的关系, 探索了沉积电压、沉积时间与电泳沉积量的关系. 结果表明, 当添加少量分散剂聚乙二醇时, pH值在3.5～5.5较宽的范围内, 悬浮液具有较高的Zeta电位, 容易制得稳定的悬浮液. 沉积电压为21V, 沉积时间为5min时, 在Pt金属基底上电泳沉积得到的PNN-PZT厚膜, 经过1200℃烧结30min后, SEM显微结构分析表明, 厚膜致密, 晶粒得到充分生长. 电学性能测试显示此厚膜具有良好的铁电介电性能, 其剩余极化强度P_r可达20.8μC/cm~2, 介电损耗tanδ为3.2%.