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刘学丽; 黄延伟; 李向明; 席俊华; 季振国;
杭州电子科技大学材料与环境工程学院,浙江杭州310018;
电子束蒸发; 重掺硅薄膜; 低辐射玻璃; 硅保护层; 铝诱导低温晶化法;
机译:超光滑电子束蒸发非晶硅薄膜-用于MEMS应用的PECVD非晶硅薄膜的可行替代品
机译:厚度对丝网印刷沉积在银铝背接触涂层塑料基板上的掺硼硅薄膜的影响
机译:通过VHF-PECVD沉积的高导电性掺硼微/纳米晶硅薄膜,用于太阳能电池应用
机译:通过在基材上的离子组分组合物对照中的电子束蒸发通过电子束蒸发沉积单晶ZnO膜的低温沉积
机译:大气压化学气相沉积法将非晶碳化硅薄膜沉积在熔融石英上。
机译:常压等离子体化学气相沉积法生长掺锌铜的抗菌氧化硅薄膜
机译:出版商的注意事项:“沉积温度对电子束蒸发的多晶硅薄膜薄膜的影响,二极管激光器结晶”苹果。物理。吧。 104,242102(2014)
机译:用电子束蒸发法在KapTON层压板上沉积均匀的铝膜
机译:在太阳能电池应用的大型玻璃基板上快速液相沉积结晶硅薄膜的方法
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法低功率制备高导电掺磷N型微晶氢化硅薄膜的工艺
机译:制造化合物半导体外延晶片的步骤包括:在金属基板上沉积硅薄膜;在硅缓冲层上沉积化合物半导体薄膜;以及使化合物半导体薄膜结晶化
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