电子束蒸发二氧化硅薄膜在Si／Si_（1－x）Ge_x　HBT中的应用研究

摘要

本文介绍了电子束蒸发二氧化硅薄膜的工艺方法，影响蒸发二氧化硅薄膜质量的因素，以及用于Ｓｉ／Ｓｉ１－ｘＧｅｘＨＢＴ的结果。