压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真

摘要

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用单梁加质量块的形式，这种形式的传感器灵敏度比较高，但它的横向效应较难克服，文中提出一种四梁结构的加速度传感器，通过仿真计算，说明该结构的加速度传感器具有良好的综合特性。