用剥离技术制备MEMS金属电极

摘要

研究了用剥离技术制备MEMS金属电极的工艺技术。结果表明，用剥离技术可以制备10μm以上线宽的金属电极，且图形完整均匀、无损伤。这是目前制作MEMS金属电极的一种较好方法。