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美研究将MEMS晶体管集成至CMOS电路

         

摘要

美国半导体研发联盟机构SemiconductorResearch(SCR)与康奈尔大学(ComellUniversity)合作发表一种微机电系统(MEMS)晶体管,并可提供给SCR联盟成员采用,做为CMOS芯片上的时序(timing)解决方案。

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