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CMOS电路与大量程流量计的单片集成

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本文在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上.测试结果表明,在集成工艺流程下,CMOS的单管特性和放大电路的闭环特性均正常工作.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|473-475|共3页
会议地点大连
作者
赵涛; 张大成; 王小保;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体集成电路（固体电路）;金属-氧化物-半导体（MOS）器件;流量测量仪表;
关键词
压阻器件; 流量计; 单片集成化; CMOS电路;

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