基于集成电路虚拟制造系统下的晶体管热现象研究

摘要

首先介绍了纳米级TCAD仿真平台-Sentaurus Workbench(SWB)的功能和特点，在Sentaurus Workbench(SWB)下，进行了小尺寸NPN双极性晶体管热现象的器件物理特性分析.重点研究了VBE与晶格温度的因变关系，当VCE保持在3.0V、VBE达到最大值0.735V时，随器件晶格温度的升高VBE将减小，最后，笔者给出了描述晶体管温变关系的三维曲线.