采用视频图像的激光干涉测长技术

摘要

为使激光干涉测长仪具有可逆计数功能和良好的抗干扰性能,必须采用移相技术获得两路相位差为90°的信号。为克服传统移相技术的结构复杂、调节困难等问题,在利用迈克尔逊干涉仪产生等厚干涉条纹的基础上,利用希尔伯特变换法对干涉条纹进行移相,确定信号读取位置,从摄像机记录的动态条纹信号中提取出两路相位差为90°的信号,利用反正切相位跳变特征实现可逆计数,从而实现长度的精确测量。实验结果表明,希尔伯特变换移相法适用于激光干涉测长技术,且对干涉条纹间隔和方向没有严格限制,仪器调节使用方便,具有较强的抗干扰能力。