单频激光干涉测长误差分析系统研究

摘要

单频激光干涉仪具有信号处理过程简单、易于集成、系统结构简单等特点。基于迈克尔逊干涉基本原理和海德曼椭圆拟合修正方法,提出了一种新型的非线性误差计算方法,设计了对位移非线性误差进行检测和分析的系统。该系统可以分离测量系统的非线性误差,并在改变测量条件时精确观察非线性误差的变化情况,为测量系统非线性误差的补偿提供借鉴。