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激光干涉测长未对准误差分析

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摘要

分析了激光干涉测长原理,建立了测长光路中角锥棱镜的光线偏移模型及内部光程模型,推导了忽略直线度误差及角度误差的未对准误差对定位误差测量结果影响关系的简洁表达式,进行了定位误差的测定实验,给出了未对准误差的一种定量评估方法.

著录项

来源
《光子学报》 |2010年第2期|311-315|共5页
作者
杨新刚; 黄玉美;
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作者单位

西安理工大学机械与精密仪器工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学计量仪器;
关键词
激光测量系统; 未对准误差; 定位准确度; 角锥棱镜; 误差分析;

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