激光偏振干涉测长非线性误差检测

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致谢

第1章 绪论

1.1 课题来源和研究目的及意义

1.2 国内外研究现状

1.2.1 微位移测量研究现状

1.2.2 激光测量技术研究现状

1.2.3 非线性误差补偿方法研究现状

1.3 课题研究的主要内容

第2章 激光干涉测长系统及误差检测原理

2.1 激光干涉测长概述

2.1.1 单频激光干涉测长基本原理

2.1.2 基本测量原理图

2.2 测长系统误差检测概述

2.2.1 非线性误差计算

2.2.2 非线性误差分析

2.3 本章小结

第3章 激光干涉测长系统硬件设计

3.1 测长系统光路设计概述

3.2.1 测量镜片选择

3.2.2 位移平台概述

3.3 电路系统设计

3.3.1 压电陶瓷驱动电路

3.3.2 光电转换电路

3.3.3 后级处理电路

3.3.4 电路板噪声测量

3.3.5 光路干涉信号测量

3.4 本章小结

第4章 激光干涉测长系统软件设计

4.1 LABVIEW简介

4.2 数据采集程序

4.2.1 数据采集卡选型

4.2.2 采集卡驱动有关函数

4.3.1 椭圆拟合程序

4.3.2 位移计算程序

4.3.3 非线性误差计算与分析程序

4.4 本章小结

第5章 激光干涉测长系统误差分析

5.1 测长系统误差测量实验

5.1.1 位移值计算

5.1.2 非线性误差计算

5.1.3 非线性误差分析

5.2 二倍频误差分析

5.3 电路对非线性误差的影响实验

5.4 测量系统非线性误差漂移实验

5.4.1 漂移实验

5.4.2 误差漂移原因分析

5.5 波片对测量系统非线性误差的影响

5.5.1 转动波片角度观察误差变化

5.5.2 转动波片实验

5.6 本章小结

第6章 结论与展望

6.1 研究总结

6.2 待研究的工作及工作展望

参考文献

攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况