氦氖激光拍波绝对干涉测长技术现状

摘要

近２０年来，国内外众多学者一直在潜心研究大长度绝对干涉测量技术，并先后研制出以二氧化碳、氦氙和氦氖激光器为光源的若干测量系统，但至今尚未进入实用阶段。介绍了几种用氦氖激光器作光源的拍波绝干对涉测长系统，对其优缺点进行了详细分析，并指出了该技术实用化过程中的几个关键问题，以便早日研制成功实用的大长度绝对干涉测量仪，从而满足科研和工业生产的需要。