基于超声测长技术和激光干涉技术的0～2500 Pa压力基准装置设计

摘要

介绍了一种新型的补偿式微压基准,该基准装置的压力测量范围为0～2500 Pa并采用去离子水为工作介质,装置采用超声技术实现两端容器微小液位差的精确测量,同时利用激光干涉技术实现补偿容器移动距离的精确测量,基准装置主要由U型容器系统、伺服驱动系统、超声定位系统、激光测长系统、恒温槽及温度控制系统以及数据采集处理系统组成.