集成埋置式薄膜无源元件MCM的研究现状

摘要

本文介绍了带有埋置式集成薄膜无源元件MCM的研究现状，其包括MCM集成无源元件的研制方法，材料和工艺的选择和优化及MCM制造工艺等一整套问题，分析了集成薄膜无源元件MCM的优缺点及其发展趋势。