最新高功能CVD成膜技术

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@@ 随着工业技术的快速发展,对工业材料高功能、高性能化的要求也更高.作为高功能的工艺技术有气相沉积法.气相沉积大体分为两类即化学气相沉积法(CVD法)与物理气相沉积法(PVD法).特别是CVD法,由于是通过在气相中或在基板表面的化学反应形成所要求的材料的薄膜,因此通过控制流入反应室内的化合物气体,可以高纯度地合成多种材料.

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来源
《热处理技术与装备》 |2002年第3期|13-16|共4页
作者
王冰; 张玉河;
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作者单位

济南轻骑发动机有限公司,济南,250101;

济南轻骑发动机有限公司,济南,250101;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属学与热处理;
关键词
化学气相沉积; 薄膜; 半导体; 等离子体;

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