高压CMOS管工艺的设计、模拟和验证

摘要

模拟和验证了一种低成本的 ,以标准CMOS工艺为基础 ,无需对原工艺流程进行改动的高压工艺技术 .讨论了低压器件中的各种击穿机理 ,相应提出了高压器件中所做出的改进 ,列举了该工艺技术中所用到的特殊版图 ;对此工艺的应用性进行了二维的工艺和器件模拟 ;将模拟结果与实际测试结果进行了比较 。