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光学系统中环形光源对半导体成像影响研究

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摘要

以某国产200 mm(8英寸)砂轮划片机光学系统为例,以CCD为检测物并以国外进口同级别设备光学图像为参考标准.通过与进口设备对比,分析环形光源对成像的影响因素,研究应用几何光学原理,实现成像质量的提高.

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来源
《电子工业专用设备》 |2015年第9期|19-21,52|共4页
作者
季峥; 岳芸; 王兵锋; 王宏智;
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作者单位

北京中电科电子装备有限公司,北京100176;

北京中电科电子装备有限公司,北京100176;

北京中电科电子装备有限公司,北京100176;

北京中电科电子装备有限公司,北京100176;

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正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
环形光源; 划片机; 图像;

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