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佘陈慧; 范广明; 谈利鹏; 刘培生; 陶玉娟;
南通大学信息科学技术学院 江苏南通 226019;
南通大学杏林学院 江苏南通 226236;
通富微电股份有限公司 江苏南通 226006;
信号-地结构; TSV; 信号传输性能; 插入损耗; 表面积;
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机译:硅酮用于测量硅通孔中的流动电流,硅通孔由硅中介层组成,其制造方法和硅中介层
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