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桂全宏; 佘星欣;
深圳市科技专家委员会办公室;
哈尔滨工业大学深圳研究生院;
微晶硅薄膜; 沉积速率; 晶化率;
机译:VHF-PECVD制备本征微晶硅薄膜的活化能研究
机译:VHF-PECVD技术沉积的氢化微晶硅薄膜的衬底效应
机译:微晶硅薄膜的低温PECVD生长动力学:衬底表面处理的影响
机译:VHF-PECVD技术制备的氢化微晶硅薄膜的衬底效应
机译:在直流鞍场PECVD系统中氢化微晶硅薄膜的生长。
机译:芯片PCR。二。在微晶硅玻璃芯片中不同PCR扩增系统的研究。
机译:VHF-PECVD法制备微晶硅薄膜的电子输运性质
机译:通过光CVD(化学/气相沉积)和辉光放电制备的微晶硅 - 碳p层的研究:最终转包报告,1987年12月1日 - 1988年11月30日。
机译:通过化学气相沉积法在硅衬底上制备镍薄膜的方法以及在硅衬底上制备硅化镍薄膜的方法
机译:使用氢和硅烷混合物的微晶硅薄膜PECVD
机译:一种在高衬底功率下使用稀释液在低衬底温度下制备低带隙非晶硅薄膜的方法
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