脉冲激光沉积CMR薄膜靶材温度场的模拟研究

摘要

本文采用数值模拟的方法分析了脉冲激光沉积(PLD)薄膜过程中激光烧蚀靶材表面温度场的分布,计算了激光功率密度对温度场的影响和在合适激光功率密度下靶材表面温度场的分布和烧蚀深度,分析结果可为提高PLD制膜的质量提供理论指导。