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机译:氮离子辅助脉冲激光沉积SiC靶材制备非晶SiCN薄膜的XPS研究
Bonding; X-ray photoelectron spectroscopy; SiCN; Pulsed laser ablation;
机译:氮离子辅助脉冲激光沉积SiC靶材制备非晶SiCN薄膜的XPS研究
机译:辅助射频等离子体对射频磁控溅射SiC靶材制备SiCN薄膜的结构和性能的影响
机译:氧气压力,温度和衬底/目标距离对脉冲激光沉积制备的Cu_2Ta_4O_(12)薄膜的影响
机译:等离子增强化学气相沉积法制备非晶SiC薄膜的性能
机译:用离子辅助PECVD沉积和表征类金刚石碳,二氧化硅及其纳米复合薄膜。
机译:脉冲激光沉积制备6H-SiC(0001)衬底上VO2薄膜的增强的相变特性
机译:27.12MHz等离子体增强化学气相沉积沉积的无定形硅薄膜中光生殖和重组的模拟与实验研究