法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-24
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20200519
实质审查的生效
2020-06-30
公开
公开
机译: 用于通过在真空室内通过等离子体形成在基板上形成涂层的光学装置,包括脉冲激光束,该脉冲激光束被定向用于点燃圆柱形靶材表面上的电弧放电
机译: 用于阴极溅射的复合靶材-使用收缩配合将一种靶材保持在相应位置。其他靶材上的凹槽或孔
机译: 具有分离靶材的脉冲激光沉积装置以及使用该装置的多层薄膜的沉积方法