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王彬; 孙德贵; 尚鸿鹏;
长春理工大学理学院;
长春130022;
绝缘体上硅波导; 侧壁粗糙度; 相关长度; 光传输损耗; 光损耗测量;
机译:降低绝缘体上硅肋形波导中的侧壁粗糙度
机译:绝缘体上硅肋形波导中侧壁表面粗糙度的改善
机译:使用SiO2硬掩模和基于氟的干法刻蚀可降低侧壁粗糙度的低损耗硅波导
机译:低损耗片上链路的亚微米绝缘体上硅波导的侧壁粗糙度的改善
机译:与硅隔离物局部氧化的互补金属氧化物半导体绝缘体上硅绝缘光肋波导。
机译:具有亚纳米表面粗糙度的绝缘体波导上的长低损耗铌酸锂
机译:具有垂直侧壁和降低粗糙度的亚微硅波导的制造,可实现低损耗应用
机译:通过键合 - 回蚀工艺形成的绝缘体上硅光波导中的传播损耗测量
机译:绝缘体上硅晶体管的薄氧化物侧壁绝缘体
机译:在绝缘体上的硅 - 在绝缘体上提供波导的光学隔离的方法和结构
机译:在绝缘体上硅晶片中制造高压分立元件,涉及在半导体衬底的保护层上与侧壁同时形成导电板
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