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机译:降低绝缘体上硅肋形波导中的侧壁粗糙度
Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Microsyst & Informat Technol, Ion Beam Lab, Shanghai 200050, Peoples R China;
silicon-on-insulator (SOI); sidewall roughness; inductive coupled plasma reactive ion etching (ICPRIE); scattering loss;
机译:绝缘体上硅肋形波导中侧壁表面粗糙度的改善
机译:侧壁粗糙度的研究引起了硅与共聚焦激光扫描显微镜的光学散射丧失
机译:氢热退火以在绝缘体上硅上进行3-D轮廓转换并减少侧壁粗糙度
机译:低损耗片上链路的亚微米绝缘体上硅波导的侧壁粗糙度的改善
机译:绝缘体上硅肋波导桥上的热机械可调布拉格光栅滤波器。
机译:基于绝缘体上硅肋波导阵列的高性能微集成表面等离子体共振传感器的设计
机译:侧壁粗糙度的研究引起了硅与共聚焦激光扫描显微镜的光学散射丧失