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基于绝缘体上硅材料的25通道200GHz的阵列波导光栅

         

摘要

报道了基于绝缘体上硅材料的25通道、信道间隔200 GHz的阵列波导光栅,分别优化了输入波导/输出波导/阵列波导间的最小间距(Δxi/Δxo/d),及其自由传播区和阵列波导之间边界结构(W2/L2/L3).实验结果表明,该阵列波导光栅的插入损耗为5~7 dB,串扰为13 ~ 15 dB,该阵列波导光栅的性能得到有效提升.同时也提出了减小插损与串扰的进一步优化方案.%A SOI-based 25-channel AWG with 200 GHz channel spacing is demonstrated.The minimum distance between the input waveguides (Δxi)/output waveguides (Δxo)/arrayed waveguides (d) is optimized respectively.Then the boundary structures between the free propagation regions (FPRs) and the arrayed waveguides (W2/L2/L3) are optimized in detail.The experiment results show that the insertion loss of the AWG is 5 ~ 7 dB,and the crosstalk of it is 13 ~ 15 dB.Compared with our previous work,the performance of AWG in this paper has been improved greatly,and further methods to improve the performances of insertion loss and crosstalk have been proposed as well.

著录项

  • 来源
    《红外与毫米波学报》 |2018年第6期|673-678|共6页
  • 作者单位

    中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室;

    北京100083;

    中国科学院大学材料科学与光电技术学院;

    北京100049;

    中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室;

    北京100083;

    中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室;

    北京100083;

    中国科学院大学材料科学与光电技术学院;

    北京100049;

    中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室;

    北京100083;

    中国科学院大学材料科学与光电技术学院;

    北京100049;

    中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室;

    北京100083;

    中国科学院大学材料科学与光电技术学院;

    北京100049;

    中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室;

    北京100083;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 集成光学器件;
  • 关键词

    硅基光电子; 阵列波导光栅; 双刻蚀结构; 波分复用/解复用器;

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