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【2h】

Fabrication of Sub-micro Silicon Waveguide with Vertical Sidewall and Reduced Roughness for Low Loss Applications

机译：具有垂直侧壁和降低粗糙度的亚微硅波导的制造，可实现低损耗应用

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作者
Wang Peng; Michael Aron; Kwok Chee Yee;
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年度 2014
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