短沟道SOI/SDB CMOS器件性能研究

摘要

利用硅栅自对准全离子注入工艺制备了ＳＯＩ／ＳＤＢＣＭＯＳ器件，讨论了该器件的短沟道效应、“Ｋｉｎｋ”效应以及ＳＯＩ硅膜厚度对ＮＭＯＳ、ＰＭＯＳ管参数的影响。