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郭从良; 王荣生; 刘同怀;
中国科学技术大学电子科学与技术系;
光刻; 镜扫描; 控制系统; 集成电路;
机译:使用光学表面扫描仪和扫描电子显微镜的纳米压印光刻缺陷跟踪
机译:使用扫描探针显微镜在Si表面进行刮擦纳米光刻:扫描参数对沟槽尺寸的影响
机译:扫描扩展电阻显微镜在集成电路工业中的应用
机译:使用力调制扫描探针显微镜通过扫描显微镜的纳米光刻
机译:GaN NWS的多功能性质应用于纳米术,纳米级,扫描探针显微镜/光刻
机译:单数字纳米电子束光刻和像差校正扫描透射电子显微镜
机译:通过扫描电化学显微镜与免疫控制系统扫描电化学显微镜可检测灵敏度的改进
机译:扫描探针光刻。扫描隧道显微镜Tipparameters对自组装单层光刻图案的影响
机译:活化室和套件,用于处理设备中以降低电子亲和力,包含所述成套工具并用于降低电子亲和力的处理设备,光电阴极电子束源,含电子枪的电子枪,含电子阴极的电子电极显微镜,扫描电子显微镜,电子束全息照相术,电子束光刻设备,电子束衍射设备和电子束扫描设备
机译:活化室和套件,用于处理设备中以降低电子亲和力,包含所述成套工具并用于降低电子亲和力的处理设备,光电阴极电子束源,含有电子枪的电子枪,包含电子的电极,电阴极,电子电极显微镜,扫描电子显微镜,电子束全息照相术,电子束光刻设备,电子束衍射设备和电子束扫描设备
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