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机译:使用光学表面扫描仪和扫描电子显微镜的纳米压印光刻缺陷跟踪
Seagate Technology, 47488 Kato Road, Fremont, CA 94538, USA;
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机译:通过扫描电子显微镜检查和极浅Si刻蚀有效测量45nm半间距紫外纳米压印光刻图形的线宽
机译:在下一代光刻中使用基于高级临界尺寸扫描电子显微镜的轮廓进行高精度光学邻近校正建模
机译:在下一代光刻中使用基于高级临界尺寸扫描电子显微镜的轮廓的高精度光学接近校正模型
机译:用平板扫描仪和扫描电子显微镜评价膜表面形貌。
机译:一种用于无损检测玉米核缺陷的激光光学系统(图像处理,声学,分光光度法,扫描电子显微镜,质量评估)。
机译:单数字纳米电子束光刻和像差校正扫描透射电子显微镜
机译:具有像差校正扫描透射电子显微镜的单位数字纳米电子束光刻