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Single-Digit Nanometer Electron-Beam Lithography with an Aberration-Corrected Scanning Transmission Electron Microscope

机译：具有像差校正扫描透射电子显微镜的单位数字纳米电子束光刻

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Fernando E. Camino; Vitor R. Manfrinato; Aaron Stein; Lihua Zhang; Ming Lu; Eric A. Stach; Charles T. Black;
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年度 2018
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