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刘丽媛; 郑林挺; 石高明; 林晓玲; 来萍; 陈选龙;
工业和信息化部电子第五研究所;
中国赛宝实验室可靠性研究分析中心;
GAAS集成电路; 金属化缺陷; 光发射显微镜; 光致电阻变化; 失效分析;
机译:通过软缺陷定位分析边缘失效特性及相关缺陷的研究
机译:基于铜的GaAs单晶集成电路元素间金属化的形成
机译:集成电路故障分析中的漏电流研究和相关缺陷定位
机译:集成电路金属化中腐蚀缺陷的监测和减少的改进
机译:电子离子光束对半导体集成电路的失效分析研究
机译:湿化学用于混合信号集成电路中射频交叉对话隔离的大孔硅中镍金属化研究
机译:集成电路缺陷定位的热激光刺激模型的初步研究
机译:Gaas集成电路的失效机制:Gaas的电迁移
机译:用于辐射稳定性的硬件软件系统研究了基于飞秒脉冲激光源的基于GaAs和Si的集成电路对单个带电粒子的影响
机译:波长可调的激光系统,用于研究基于Si,GaAs,SiGe的集成电路的辐射电阻对单个带电粒子的影响
机译:集成电路测试仪和定位集成电路的缺陷部分的方法
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