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半导体光刻技术在生物芯片制作中的应用

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摘要

以生物芯片及其制作过程来重点介绍采用半导体光刻技术制作基因芯片,通过与传统光引导合成法的比较,表明了这种方法在制作高密度寡聚核苷酸上的优越性,其探针特征尺寸可望达到1 μm,并阐明了其原因.

著录项

来源
《传感技术学报》|2003年第1期|99-102|共4页
作者
胡泽军; 张生才; 姚素英; 庞科; 李育刚; 徐利;
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作者单位

天津大学电子信息工程学院,天津,300072;

天津大学电子信息工程学院,天津,300072;

天津大学电子信息工程学院,天津,300072;

天津大学电子信息工程学院,天津,300072;

天津大学电子信息工程学院,天津,300072;

天津大学电子信息工程学院,天津,300072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
生物芯片; 半导体光刻; 基因芯片; 寡聚核苷酸阵列;
入库时间 2023-07-25 12:35:49

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