氧化—削尖自对准多层金属栅的工艺研究

摘要

真空平板显示器的底板主要由场发射阴极和金月栅极构成。本文报告了ＴＩ－Ｗ－Ａｕ三层金属栅极代替过去的铝栅，解决了栅与绝绝层ＳｉＯ＿２的附着问题和金属离子迁移问题而又便于压焊引线，本文报告了氧化削尖对准工艺解决了栅阴套准的问题。