VDMOS的导通电阻模型

摘要

导通电阻是衡量VDMOS器件性能的重要参数之一,是高开关效率,低功耗VDMOS器件的主要设计指标.从VDMOS器件物理结构出发,利用半导体基本物理方程,如泊松方程,提出了一种建立精确导通电阻模型的方法.采用弧形边界对颈区电阻进行建模;通过考察载流子运动规律,求解泊松方程,结合器件结构与边界条件建立外延层模型.该方法物理概念清晰,规避了经验参数,考虑了器件结构参数对导通电阻的影响.该模型与MEDICI模拟结果相比较有良好的一致性.