磁控溅射AZO薄膜表面形貌的探讨与优化

摘要

本文主要探讨利用磁控溅射法获得优良光学和电学性能的AZO薄膜，并研究优化的湿化学蚀刻方法获得具有理想表面形貌的AZO导电玻璃，用于提高非晶硅薄膜电池的光电转换效率。