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赵斌; 唐立丹; 王冰; 冯佳恒;
辽宁工业大学材料科学与工程学院;
中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心;
梯度铝掺杂的氧化锌(AZO)薄膜; 磁控溅射; 氩氧比; 电阻率; 透过率;
机译:磁控溅射中氩氧流量比对SnO 2 sub>薄膜形貌和吸湿性能的影响
机译:衬底温度和氧/氩流量比对射频磁控溅射制备的GZO薄膜的电学和光学性能的影响
机译:射频功率和O_2 / Ar流量比对射频磁控溅射沉积透明电极AZO薄膜性能的影响
机译:氧/氩流量比对反应磁控溅射等离子体中TiO 2 inf>薄膜生长的影响
机译:利用射频磁控溅射外延钛酸钡薄膜制造光电子器件的研究。
机译:氧浓度对超薄射频磁控溅射沉积铟锡氧化物薄膜作为光伏器件上电极的性能的影响
机译:靶 - 衬底距离对射频磁控溅射aZO薄膜性能的影响
机译:YBCO薄膜的离轴磁控溅射:原子氧的影响
机译:多级梯度光电掩模,制造多级梯度光电掩模的方法,图案转移方法和制造薄膜晶体管的方法
机译:重量百分比对碳化硼颗粒增强铝基复合材料力学性能的影响
机译:梯度自掺杂纯相多元素金属氧化物薄膜的磁控溅射制备方法
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