声明
引言
1 绪论
1.1 AZO薄膜的性质
1.1.1 ZnO的晶体结构
1.1.2 ZnO的电学性质
1.1.3 ZnO的光学性质
1.1.4 AZO薄膜的电学性质
1.1.5 AZO薄膜的光学性质
1.2 AZO薄膜的应用
1.2.1 AZO薄膜在太阳能电池方面的应用
1.2.2 AZO薄膜在平板显示器上的应用
1.2.3 AZO薄膜在气敏传感器方面的应用
2 AZO薄膜的制备工艺及表征方法
2.1 磁控溅射设备及在线光谱测量系统
2.2.1 磁控溅射的基本原理
2.2.2 JGP-450型磁控溅射系统
2.2.3 等离子体发射光谱测量系统
2.3 AZO薄膜的结构和形貌表征
2.3.1 晶体结构分析
2.3.2 表面和截面形貌分析
2.4 AZO薄膜的透射光谱测量
2.4.1 透射光谱测量系统
2.4.2透射光谱拟合原理
2.5 AZO薄膜的电学性质测量
2.5.1 四探针电阻测量仪
2.5.2 Hall测量仪
3 反应射频放电等离子体的特征及其不稳定性
3.1 实验方法及参数设置
3.2 等离子体光谱的分析方法
3.3 放电参数对等离子体的影响
3.3.1 电子激发温度和氧原子密度随工作气压的变化
3.3.2 电子激发温度和氧原子密度随O2分压的变化
3.3.3 基片温度对反应磁控溅射等离子体的影响
3.4 反常的金属-氧化周期性振荡模式
3.4.1 金属-氧化周期性振荡模式的发现
3.4.2 金属-氧化周期性振荡模式下的等离子体特性
3.5 本章小结
4 氧原子在反应磁控溅射沉积AZO薄膜中的作用
4.1 实验方法及参数设置
4.2 氧分压与沉积速率和氧原子密度的关系
4.3 氧原子密度对AZO薄膜光电性能的影响
4.4 利用金属-氧化周期性振荡模式制备多层膜
4.5 本章小结
5 沉积温度对AZO薄膜光电特性的影响
5.1 实验方法及参数设置
5.2 AZO薄膜的形貌和结晶质量随沉积温度的变化
5.2.1 AZO薄膜在蓝宝石基片上的生长行为
5.2.2 AZO薄膜在石英基片上的生长行为
5.3 AZO薄膜的电学和光学性质随沉积温度的变化
5.3.1 蓝宝石基片上生长的AZO薄膜的光电性质
5.3.2 石英基片上生长的AZO薄膜的光电性质
5.4 本章小结
结论
参 考 文 献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致 谢
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