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王玉琦; 王小曼;
不详;
磁控溅射; 镀膜; 膜层厚度; 靶位; 控制;
机译:膜厚对圆柱形旋转磁控溅射ITO膜的电,光学和结构性能的影响
机译:膜厚对反应磁控溅射在MgO衬底上沉积的外延TiC膜的形貌和电学性能的影响
机译:封闭场不平衡磁控溅射离子镀膜机的配方控制
机译:用于反应溅射的在线镀膜机沿传输方向的膜厚分布建模
机译:溅射参数对RF磁控溅射沉积ITO膜的影响
机译:直流磁控溅射性能的改进含保留Ar原子的Al掺杂ZnO多晶膜10nm厚的缓冲层
机译:基板温度和膜厚对HPPMS和直流磁控溅射Ge薄膜的热,电和结构性能的影响
机译:玻璃微球上厚铂涂层的射频磁控溅射
机译:膜厚控制系统,膜厚控制方法,蒸镀装置及蒸镀方法
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