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刘一; 赵俊; 邹子英; 雷李华;
上海市计量测试技术研究院;
中国科学院上海应用物理研究所;
膜厚均匀性; 纳米测量机; 激光聚焦式测头;
机译:通过化学溶液沉积制备的用于MEMS的锆酸钛酸铅厚膜的制备与表征
机译:灰色理论用于评估不同氮含量和膜厚制备的a-C:H(N)涂膜的摩擦学性能
机译:用于反应溅射的在线镀膜机沿传输方向的膜厚分布建模
机译:使用喷涂技术制备的钛酸铋铋厚膜的特性,用于高温超声非破坏性评估。
机译:用于传感和驱动的PZT厚膜的制备与表征
机译:用于制备PZT厚膜的PZT细粉的制备
机译:用于制备纹理化的“1223”Tl-Ca-Ba-Cu氧化物厚膜的银添加方法的开发进展
机译:膜厚测量装置的标定方法,膜厚测量装置及标定成员
机译:一种用于具有嵌入扩散层的外延硅晶片中的硅外延层的膜厚测量装置和膜厚测量方法,以及用于使用该膜厚测量装置或膜厚测量方法制造具有嵌入扩散层的外延硅晶片的方法。
机译:膜厚测量装置,膜厚测量方法,膜厚测量程序以及用于记录膜厚测量程序的记录介质
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