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陈忠民; 刘泽文; 刘理天; 李志坚;
清华大学微电子学研究所;
多孔硅; 氧化多孔硅; 射; 频;
机译:在硅衬底上用于MEMS应用的有机PVP掺杂的Ba0.5Sr0.5TiO3厚膜的制备
机译:通过多孔硅衬底的氧化制备无位错拉伸应变SiGe膜的方法
机译:在硅衬底上制作厚的二氧化硅牺牲和隔离块
机译:厚氧化多孔硅层作为隔热材料,用于高温操作的薄膜和厚膜气体传感器
机译:多孔硅的电化学制备和物理化学表征以及多孔二氧化硅的阳极膜。
机译:原子层沉积制备的用于生物光子学的多孔硅-氧化锌纳米复合材料
机译:用于pEm型燃料电池的spEEK /共聚倍半硅氧烷锆石混合膜的生产用于质子交换的氧化物spEEK /共聚倍半硅氧烷混合膜的制备膜燃料电池
机译:用于制备纹理化的“1223”Tl-Ca-Ba-Cu氧化物厚膜的银添加方法的开发进展
机译:通过图案化焊盘膜和预定深度的衬底以形成沟槽来形成半导体器件的隔离膜,并形成侧壁氧化膜,第一隔离膜,硅层和第二隔离膜
机译:双栅存储单元具有带有源区的硅衬底,带有非晶硅和二氧化钛混合氧化物的隧道氧化膜,用于存储电荷的浮栅,由介电材料制成的隔离层
机译:半导体器件,例如金属氧化物半导体场效应晶体管,包括绝缘体衬底上的硅,该绝缘体衬底上具有半导体层,隔离膜,栅电极,中间层隔离膜和填充的接触孔
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