一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板

摘要

本实用新型涉及到电镀技术领域，尤其涉及一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板。该磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板的气缸的顶杆顶端固定有齿条，齿盘与齿条相互啮合，齿条能够在气缸的带动下沿导轨滑动，齿条的移动通过齿盘带动修正板转动，完成修正板角度的调节，上限位调节螺钉和下限位调节螺钉能够对修正板的转动角度进行调节。此外，该磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板结构简单，对修正板角度的调节准确可靠，适合推广使用。