C3N4薄膜的结构与性能研究

摘要

用射频等离子体增强化学汽相沉积技术合成Ｃ３Ｎ４薄膜，并采用强迫晶化技术，经透射电子衍射观察，薄膜具有多晶结构，用Ｘ射线光电子能谱测试了Ｃ，Ｎ原子结合能及含氮量，傅里外光谱曲线表明薄膜中不含石墨相，测得薄膜的维氏硬度为２９．２－５０．０ＧＰａ。